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Ball Screw
 
AMAT P5000
 
Adapter
 
AMAT ENDURA

Material: AL/SUS
   
Cover ring
 
AMAT ENDURA

Material: AL/SUS
 
Deposition Ring
 
AMAT ENDURA

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AMAT ENDURA

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Shielding
 
AMAT ENDURA

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Wafer Guide
 
TEL TRACK

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Vespel Pin
 
Material: Vespel
   
PTFE Seal
 
AMAT CVD

P/N# 3870-04458
 
Ceramic Lift Pin
 
Taper Pin
   

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